Alumina can exist in a number of me

Alumina can exist in a number of metastable polymorphs in addition to the thermodynamically stable alfa. It is often reported that al2 o3 PVD coatings are amorphous at low deposition temperatures [7-11], whereas substrate temperatures above 400-500 lead to the formation of gamma [7,11]. Alfa al2o3 was obtained by an RF sputtering technigue at substrate temperatures above 1100 [7] and with pulsed magnetron sputtering at significantly lower temperatures [12]. Because of technical differences between the applied sputtering systems and non trasferable process conditions, it is difficult to compare the individual results given in the literature with each other. For this reason an attempt was made in this paper to establish a correlation between deposition technique, deposition temperature and oxygen partial pressure on the hand and observed deposition rate and mechanical properties of the alumina films on the other, by using one single sputtering device and comparable conditions for the experiments.

Hasil (Bahasa Indonesia) 1:

Alumina dapat ada di sejumlah metastable polimorf selain alfa thermodynamically stabil. Hal ini sering dilaporkan bahwa al2 o3 PVD coating amorf pada suhu rendah pengendapan [7-11], sedangkan substrat suhu di atas 400-500 mengakibatkan pembentukan gamma [7,11]. Alfa al2o3 diperoleh oleh RF tergagap-gagap technigue pada substrat suhu diatas 1100 [7] dan dengan magnetron berdenyut tergagap-gagap pada suhu secara signifikan lebih rendah [12]. Karena perbedaan teknis antara sistem sputtering diterapkan dan bebas trasferable proses kondisi, sangat sulit untuk membandingkan hasil individu diberikan dalam literatur dengan satu sama lain. Untuk alasan ini upaya dibuat dalam tulisan ini untuk mendirikan korelasi antara pengendapan teknik, endapan suhu dan oksigen tekanan parsial pada tangan dan tingkat endapan diamati dan sifat mekanik dari alumina film di sisi lain, dengan menggunakan satu perangkat sputtering tunggal dan kondisi yang sebanding untuk percobaan.