[FIGURE 1 OMITTED]In this article,

[FIGURE 1 OMITTED]

In this article, we report the high-yield synthesis of stoichiometric BN nanostructures by the HFCVD technique using borazine as precursor, without any type of catalytic agent, and no measurable elemental segregation of B or N. This technique provides precise temperature and pressure control, which is essential to obtain the optimum yield and negligible amounts of unintentional impurities or nonstoichiometric B-N compounds.

2. Experimental Methodology

The HFCVD reactor consists of a stainless steel chamber, 27 cm in diameter and 27 cm in height. At the center of the chamber, there is a substrate heater, 5 cm in diameter, placed under the filament. The filament consists of a rhenium wire, 8 cm in length and 0.5 mm in diameter, coiled into a 5 mm diameter cylinder. A copper substrate, 15.0 mm in diameter and 1.0 mm in thickness, which had been previously cleaned with methanol in ultrasound for 5 minutes, was placed on the heater, and the height of the filament was adjusted to 8.0 mm above the copper substrate.

Using a mechanical pump, a baseline vacuum of 0.03 Pa (~2 x [10.sup.-4] Torr) was achieved in the chamber. To minimize the presence of residual impurities, the chamber was filled with high-purity nitrogen and a pumped again. The process was repeated three consecutive times. Borazine gas was then allowed to flow until the pressure was stabilized at ~320Pa (2.4 Torr). The substrate was heated to 500[degrees]C and the filament was heated to 2300[degrees]C. In less than one minute, the substrate was covered with BN powder. About 85% of the borazine mass was converted into usable BN powder.

Hasil (Bahasa Indonesia) 1:

[GAMBAR 1 DIHILANGKAN]Dalam artikel ini, kami melaporkan sintesis imbal hasil yang tinggi stoikiometri BN nanostructures oleh HFCVD teknik menggunakan borazine sebagai pelopor, tanpa jenis katalitik agen, dan tidak terukur pemisahan elemen B atau N. Teknik ini memberikan kontrol suhu dan tekanan yang tepat, yang penting untuk memperoleh imbal hasil optimal dan diabaikan jumlah kotoran yang tidak disengaja atau nonstoichiometric B-N senyawa.2. eksperimental metodologiReaktor HFCVD terdiri dari sebuah ruang baja, 27 cm diameter dan 27 cm tinggi. Di tengah ruang, ada pemanas substrat, 5 cm diameter, ditempatkan di bawah filamen. Filamen terdiri dari kawat rhenium, 8 cm panjang dan 0.5 mm diameter, membelit menjadi 5 mm diameter silinder. Substrat tembaga, 15.0 mm diameter dan 1.0 mm tebal, yang telah sebelumnya dibersihkan dengan metanol di USG selama 5 menit, ditempatkan pada pemanas, dan ketinggian filamen disesuaikan 8.0 mm di atas substrat tembaga.Using a mechanical pump, a baseline vacuum of 0.03 Pa (~2 x [10.sup.-4] Torr) was achieved in the chamber. To minimize the presence of residual impurities, the chamber was filled with high-purity nitrogen and a pumped again. The process was repeated three consecutive times. Borazine gas was then allowed to flow until the pressure was stabilized at ~320Pa (2.4 Torr). The substrate was heated to 500[degrees]C and the filament was heated to 2300[degrees]C. In less than one minute, the substrate was covered with BN powder. About 85% of the borazine mass was converted into usable BN powder.

Hasil (Bahasa Indonesia) 2:

[GAMBAR 1 dihilangkan]

Dalam artikel ini, kami melaporkan sintesis-yield tinggi struktur nano BN stoikiometri dengan teknik HFCVD menggunakan borazine sebagai prekursor, tanpa jenis agen katalitik, dan tidak ada pemisahan unsur terukur dari B atau N. Teknik ini memberikan tepat suhu dan kontrol tekanan, yang penting untuk mendapatkan hasil yang optimal dan jumlah diabaikan kotoran yang tidak disengaja atau senyawa BN nonstoikiometrik.

2. Metodologi Eksperimental

Reaktor HFCVD terdiri dari ruang stainless steel, 27 cm dan diameter 27 cm. Di tengah ruangan, ada pemanas substrat, 5 cm, ditempatkan di bawah filamen. Filamen terdiri dari kawat renium, 8 cm dan 0,5 mm, digulung menjadi diameter silinder 5 mm. Sebuah substrat tembaga, 15,0 mm dan 1,0 mm ketebalan, yang sebelumnya telah dibersihkan dengan metanol di USG selama 5 menit, ditempatkan pada pemanas, dan tinggi filamen itu disesuaikan dengan 8,0 mm di atas substrat tembaga.

Menggunakan pompa mekanik, vakum dasar 0,03 Pa (~ 2 x [10.sup.-4] Torr) dicapai dalam ruang. Untuk meminimalkan keberadaan sisa kotoran, ruangan dipenuhi dengan nitrogen dengan kemurnian tinggi dan dipompa lagi. Proses ini diulang tiga kali berturut-turut. Gas Borazine kemudian dibiarkan mengalir sampai tekanan itu stabil pada ~ 320Pa (2,4 Torr). Substrat dipanaskan sampai 500 [derajat] C dan filamen dipanaskan sampai 2300 [derajat] C. Dalam waktu kurang dari satu menit, substrat ditutupi dengan bubuk BN. Sekitar 85% dari massa borazine diubah menjadi bubuk BN digunakan.